ZAPYTANIE OFERTOWE NA DOSTAWĘ SYSTEMU MONITORINGU I KONTROLI PARAMETRÓW WARSTW ORAZ SYSTEMU KONTROLI I STEROWANIA PARAMETRAMI PROCESU OSADZANIA (SDS OPTIC/4/2026)

ZAPYTANIE OFERTOWE NA DOSTAWĘ SYSTEMU MONITORINGU I KONTROLI PARAMETRÓW WARSTW ORAZ SYSTEMU KONTROLI I STEROWANIA PARAMETRAMI PROCESU OSADZANIA (SDS OPTIC/4/2026) Przedmiotem zamówienia jest zakup, dostawa oraz integracja z maszyną do wytwarzania cienkich warstw, producenta Kurt J. Lesker Company, model PRO Line PVD 75 stanowiącą zasób Zamawiającego, dwóch nowych systemów: systemu monitoringu i kontroli parametrów warstw oraz systemu kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania. Dostarczone systemy muszą być kompatybilne z posiadaną maszyną oraz umożliwiać ich prawidłową integrację i współpracę z jej istniejącymi podzespołami i układami. Aby uzyskać parametry pozwalające na osiągnięcie celów opisanych w projekcie obecne urządzenie należy poddać modyfikacji poprzez dokupienie następujących systemów: 1. System monitoringu i kontroli parametrów warstw W skład systemu będą wchodzić podzespoły zapewniające sterowanie i monitoring zarówno osadzanych warstw jak i końcowych charakterystyk czujników: - analizator widma optycznego nr 1: 1 analizator 5 kanałowy lub 5 - 1 kanałowych • możliwość prowadzenia minimum 5 niezależnych pomiarów – oddzielne drogi optyczne, oddzielne fotodetektory • obraz rejestrowanego widma w czasie rzeczywistym • zakres pomiarowy 1500-1600 nm lub większy • dokładność pomiarowa – min. 0.1 nm - przełącznik optyczny 1xN • możliwość podłączenia od 168 do 224 czujników • czas przełączania pomiędzy kanałami nie gorszy niż 1s • powtarzalność nie gorsza niż 0,3 dB • strata odbiciowa nie gorsza niż 45 dB • strata wtrąceniowa – zakres: od 0,6 do 1,5 dB lub większy • Obsługiwana długość fali - zakres: od 1400 do 1700 nm lub większy • konfiguracja wejść/wyjść optycznych – 1xN • Typ światłowodu: SMF-28 • Kompatybilny z analizatorem widma optycznego 2 - analizator widma optycznego nr 2 • obraz rejestrowanego widma w czasie rzeczywistym • zakres pomiarowy 1500-1600 nm lub większy • dokładność pomiarowa – min. 0.1 nm • kompatybilny z przełącznikiem optycznym - układ sterowania i monitoringu parametrów fizycznych warstw w trakcie procesu osadzenia wraz z analizą parametrów osadzonych warstw • kontrola grubości warstw w trakcie procesu osadzania • pomiar grubości warstwy z dokładnością nie gorszą niż ±0.5% dla długości fali 1500nm • kontrola widma optycznego warstw w trakcie procesu osadzania - Zakres pomiarowy nie mniejszy niż 400 - 2000 nm, Dokładność pomiaru nie gorsza niż 1nm, • rozdzielczość pomiarowa nie gorsza niż 4 nm • możliwość symulowania końcowej charakterystyki optycznej układu osadzanych warstw: o w przypadku zdefiniowanego początkowego składu warstw przy użyciu parametrów takich jak grubość i współczynnik załamania, o wyznaczenie końcowej charakterystyki optycznej układu po naniesieniu na wykonaną podczas procesu powłokę dodatkowych warstw o ustalonych parametrach – przedział grubości, współczynnik załamania • możliwość odczytu plików w formacie tekstowym zawierających niezbędne do obliczeń parametry fizyczne dodatkowych warstw, które nie są nanoszone w procesie osadzania. System pozwoli zapewnić następujące parametry i funkcjonalności: • niejednorodność grubości powłoki na całej powierzchni uchwytu podłoża ≤±2.0% • możliwość produkcji powłok optycznych o niskim przesunięciu długości fali <1% • wytwarzania warstw optycznych o wysokiej gęstości ze stabilnym współczynnikiem załamania światła; odchylenie współczynnika załamania światła < ±0,5% • sterowanie oraz kontrola procesu z wizualnym podglądem parametrów osadzania i możliwością ręcznej modyfikacji – wbudowany w maszynę lub jako jednostka zewnętrzna. • Rejestrowanie widma optycznego z co najmniej 160 czujków równocześnie • Kontrolę jednorodności procesu poprzez niezależny monitoring widma co najmniej 5 czujników wzorcowych w trakcie procesów • Kontrolę i możliwość modyfikacji parametrów warstw w trakcje procesu osadzania 2. System kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania System powinien obejmować osprzęt próżniowy pozwalające na podniesienie parametrów maszyny, - układ kontroli i sterowania próżnią • zakres pomiarowy nie gorszy niż do 1x10-6mbar • czujnik odporny na korozję • Kompensacja temperaturowa • Czujnik zabezpieczony przed zanieczyszczeniami • Zestaw węży próżniowych ISO-KF-25 ze stali nierdzewnej wraz z zestawem obejm i uszczelnień typu – o-ring, co najmniej 2 węże o długości 2 metry i jeden o długości 0.3 metra - układ kontroli i sterowania 3 gazami procesowymi: • zakres pomiarowy od 0 do 20 sccm dla tlenu i azotu. • zakres pomiarowy od 0 do 120 sccm dla Argonu. • dokładność pomiarowa nie gorsza niż 1% w zakresie temperatur 20 – 30 st C. • powtarzalność pomiaru nie gorsza niż 0.2% • możliwość zintegrowania z systemem monitoringu i sterowania warstw fizycznych - układ kontroli temperatury procesu • kontrola temperatury podłoża w trakcie procesu osadzania zakresie od 0 do 200 ºC lub większym • kompatybilność z portem CF20 lub CF35 Zintegrowany system pozwoli zapewnić następujące parametry i funkcjonalności: • czas osiągnięcia ciśnienia bazowego nie dłuższy niż 1 godzina • ciśnienie w czystej komorze – przed procesowe – nie wyższe niż 1x10-6mbar • czas osiągnięcia optymalnego ciśnienia przed procesowego nie dłuższy niż 8 godzin • sterowanie parametrami gazów procesowych Wszystkie elementy wchodzące w skład obydwu systemów powinny być dostarczone wraz z niezbędnym oprzyrządowaniem pozwalającym na podłączanie systemu do posiadanej maszyny i posiadanych instalacji gazów (przyłacza swagelok ¼’’ i ciśnienie do 1,5 Bar) Systemy powinny umożliwiać podgląd mierzonych parametrów poprzez zintegrowanie tej funkcji systemem Lesker PRO Line 75 lub przy użyciu jednostki zewnętrznej. W ramach zamówienia powinno nastąpić: • Szkolenie dla 3 pracowników z obsługi systemów w języku polskim lub angielskim w siedzibie Zamawiającego (odbiór testami jakościowymi – odbiór końcowy), • Dostawa musi zostać zrealizowana do: SDS Optic S.A. ul. Głęboka 39 20-612 Lublin • Zamawiający zobowiązuje się do transportu elementów urządzenia na terenie budynku, czyli od miejsca dostawy do miejsca instalacji. • Dostawa dokumentacji w języku polskim w tym:  DTR  instrukcja obsługi systemów  instrukcja konserwacji systemów  diagram PI / schemat blokowy  schemat połączeń elektrycznych  schematy montażowe Powyższe dokumenty powinny być dostarczane w formie papierowej oraz na nośniku np. pendrive, CD wraz z dostawą. Zielone zamówienia: • zostanie wybrana oferta, która zapewni eliminację z układu chłodzenia glikolu co pozwoli wyeliminować jego zużycie. Układ chłodzenia maszyny będzie wykorzystywał tylko wodę. Weryfikacja powyższego dokonana będzie na podstawie oferty Wykonawcy (formularz cenowy) oraz kart katalogowych / specyfikacji technicznych maszyny, itp. dokumentów złożonych wraz z ofertą (zgodnie z wymogiem określonym w rozdz. VII ust. 1 pkt 2 Zapytania ofertowego. Zamawiający wymaga, by na oferowane systemy gwarancja wynosiła co najmniej 12 miesięcy od dnia podpisania protokołu odbioru końcowego „bez zastrzeżeń”. Opis próby badawczej: Odbiór systemów powinien zostać poprzedzony pozytywnym zakończeniem próby badawczej oraz sprawdzeniem parametrów zmodernizowanej maszyny z zaoferowanymi systemami i kompletności dostawy. Próba zostanie przeprowadzona u Zamawiającego po dostawie, instalacji i szkoleniu. Celem próby badawczej jest potwierdzenie parametrów i funkcjonalności modernizacji. W przypadku, gdy próba badawcza nie zakończy się pozytywnie, nie nastąpi podpisanie protokołu zdawczo-odbiorczego. Wówczas Zamawiający odstąpi od umowy ze skutkiem natychmiastowym, bez możliwości zapłaty Wykonawcy jakiegokolwiek wynagrodzenia i możliwości dochodzenia przez niego odszkodowania od Zamawiającego. Próba badawcza maszyny zostanie przeprowadzona w siedzibie Zamawiającego po zakończeniu instalacji i uruchomieniu zmodernizowanej maszyny. Będzie ona polegała na: • przeprowadzeniu testów działania układu próżniowego w tym charakterystyki próżni, prędkości pompowania, ogrzewania oraz wdrożenia procesów testowych. Sprawdzane będą następujące parametry: • ciśnienie w czystej komorze – przed procesowe – nie wyższe niż 1x10-6 mbar, • czas osiągnięcia optymalnego ciśnienia przed procesowego nie gorszy niż 8 godzin, • czas osiągnięcia ciśnienia bazowego nie dłuższy niż 1 godzina. W ramach procesów testowych zostaną wytworzone powłoki na podłożach szklanych i krzemowych oraz na czołach światłowodów. Do testów zostaną użyte próbki krzemowe i szklane o średnicy nie mniejszej niż 2 cm oraz włókno światłowodowe SMF 28. Jako powłoki testowe zostaną wytworzone powłoki: TiO2, Al2O3, ZnO o grubości nie mniejszej niż 100 nm dla każdego rodzaju próbek. Testowanymi parametrami będą: 1) niejednorodność grubości powłoki na całej powierzchni uchwytu podłoża - wymagana ≤±2.0%, 2) odchylenie współczynnika załamania światła < ±0,5% dla całej powierzchni próbki, 3) w przypadku próbek osadzanych na światłowodach dla 10 światłowodów zostaną wykonane pomiary optyczne mające na celu potwierdzenie uzyskanego widma optycznego w stosunku do zadanego w trakcie procesu osadzania – mierzonego na maszynie. Testom podlegać będzie również system monitoringu osadzanych warstw w zakresie przedstawionych wyżej wymagań poprzez badania porównawcze parametrów fizycznych wykonanych warstw względem pomiarów elipsometrycznych wykonanych na urządzeniu Zamawiającego: 1) pomiar fotometryczny z dokładnością nie gorszą niż ±0,5% dla długości fali 1500 nm, 2) zakres pomiarowy 400 -2000 nm, Dokładność pomiaru nie gorsza niż 1nm. Odbiór całości przedmiotu zamówienia zostanie potwierdzony przez obie Strony protokołem odbioru przedmiotu zamówienia po uzyskaniu pozytywnego wyniku próby badawczej. Dniem dokonania odbioru jest dzień podpisania protokołu odbioru, opatrzonego przez Zamawiającego klauzulą „bez zastrzeżeń”. Zamawiający wymaga, by na oferowane systemy gwarancja wynosiła co najmniej 12 miesięcy (1 rok) od dnia podpisania protokołu odbioru „bez zastrzeżeń”. Termin realizacji zamówienia wynosi do 15 grudnia 2026 r. Warunki udziału: Lista wymaganych dokumentów/oświadczeń: VII. Informacja na temat dokumentów i oświadczeń jakie należy złożyć wraz z ofertą 1. Wraz z ofertą sporządzoną zgodnie z wzorem formularza cenowego stanowiącym Załącznik nr 2 do Zapytania ofertowego, Wykonawca zobowiązany jest złożyć: 1) oświadczenie o braku powiązań osobowych lub kapitałowych sporządzone zgodnie z wzorem oświadczenia stanowiącym Załącznik nr 3 do Zapytania ofertowego, 2) dokumenty potwierdzające parametry oferowanych systemów: systemu monitoringu i kontroli parametrów warstw oraz systemu kontroli i sterowania parametrami procesu osadzania. 2. W przypadku składania oferty przez Wykonawców ubiegających się wspólnie o udzielenie niniejszego zamówienia (konsorcja, spółki cywilne), Wykonawcy ci składają poza dokumentami wymienionymi w ustępie 1, pełnomocnictwo do reprezentowania ich w postępowaniu albo do reprezentowania w postępowaniu i zawarcia umowy. 3. Jeżeli oferta nie będzie podpisana przez osobę/y wskazaną/e w rejestrze sądowym lub innym dokumencie właściwym dla formy organizacyjnej Wykonawcy, do oferty należy załączyć pełnomocnictwo upoważniające tę osobę do reprezentowania Wykonawcy i składania w jej imieniu oświadczeń woli. Z pełnomocnictwa musi jednoznacznie wynikać do jakich czynności prawnych dana osoba/y została/y umocowana/e. 4. W przypadku składania oferty wspólnej, oferta (formularz cenowy) oraz dokumenty wskazane w ust. 1 pkt 2 składane są przez pełnomocnika Wykonawców ubiegających się wspólnie o niniejsze zamówienie. Oświadczenie o braku powiązań osobowych lub kapitałowych składane jest natomiast osobno przez każdego z Wykonawców ubiegających się wspólnie o niniejsze zamówienie. Dodatkowe warunki udziału: V. Warunki udziału w postępowaniu oraz podstawy wykluczenia z postępowania O udzielenie przedmiotowego zamówienia mogą ubiegać się Wykonawcy, którzy spełniają łącznie następujące wymagania: 1. nie są powiązani osobowo lub kapitałowo z Zamawiającym. W celu uniknięcia konfliktu interesów , zamówienie nie może być udzielone podmiotowi powiązanemu osobowo lub kapitałowo z Zamawiającym. Powiązania osobowe lub kapitałowe polegają na: 1) uczestniczeniu w spółce jako wspólnik spółki cywilnej lub spółki osobowej, posiadaniu co najmniej 10% udziałów lub akcji (o ile niższy próg nie wynika z przepisów prawa), pełnieniu funkcji członka organu nadzorczego lub zarządzającego, prokurenta, pełnomocnika, 2) pozostawaniu w związku małżeńskim, w stosunku pokrewieństwa lub powinowactwa w linii prostej, pokrewieństwa lub powinowactwa w linii bocznej do drugiego stopnia, lub związaniu z tytułu przysposobienia, opieki lub kurateli albo pozostawaniu we wspólnym pożyciu z Wykonawcą, jego zastępcą prawnym lub członkami organów zarządzających lub organów nadzorczych wykonawców ubiegających się o udzielenie zamówienia, 3) pozostawaniu z Wykonawcą w takim stosunku prawnym lub faktycznym, że istnieje uzasadniona wątpliwość co do ich bezstronności lub niezależności w związku z postępowaniem o udzielenie zamówienia. 2. nie podlegają wykluczeniu z postępowania na podstawie przesłanek, o których mowa w art. 7 ustawy z dnia 13 kwietnia 2022 r. o szczególnych rozwiązaniach w zakresie przeciwdziałania wspieraniu agresji na Ukrainę oraz służących ochronie bezpieczeństwa narodowego (t. j. Dz.U. z 2024 r., poz. 514). 3. Mając na uwadze konieczność zapewnienia należytej realizacji zamówienia, Zamawiający zaleca przeprowadzenia wizji lokalnej maszyny, która będzie podlegała ulepszeniu poprzez doposażenie w systemy stanowiące przedmiot zamówienia. Celem wizji lokalnej jest umożliwienie Wykonawcy zapoznania się z budową i stanem technicznym maszyny, zastosowanymi rozwiązaniami technicznymi oraz warunkami niezbędnymi do prawidłowego zaprojektowania, montażu i integracji zamawianych systemów. Zamawiający zapewnia możliwość odbycia jednorazowej wizji lokalnej, w dniach roboczych w godz. Od 8:00 do 16:00. Termin przeprowadzenia wizji lokalnej jest możliwy do ustalenia pod nr tel. 515 895 833. Uwaga: 1. Zgodnie z wytycznymi w zakresie kwalifikowalności wydatków, zamówienia nie mogą być udzielane podmiotom powiązanym z Zamawiającym osobowo lub kapitałowo. Ustalanie, że Wykonawca jest powiązany osobowo lub kapitałowo z Zamawiającym w rozumieniu niniejszego Zapytania, powoduje wykluczenie Wykonawcy z postępowania. 2. W przypadku składania oferty wspólnej, brak powiązań osobowych lub kapitałowych z Zamawiającym wykazać musi każdy z Wykonawców składających ofertę wspólnie. 3. W przypadku składania oferty wspólnej, warunek udziału w postępowaniu określony w rozdz. V ust. 2 Zapytania ofertowego spełniać musi każdy z Wykonawców składających ofertę wspólnie. 4. Weryfikacja braku powiązań osobowych lub kapitałowych nastąpi w oparciu o oświadczenie Wykonawcy o braku ww. powiązań osobowych lub kapitałowych z Zamawiającym (według Załącznika nr 3 do Zapytania ofertowego). 5. Weryfikacja braku podstaw do wykluczenia z postępowania na podstawie przesłanek określonych w art. 7 ustawy z dnia 13 kwietnia 2022 r. o szczególnych rozwiązaniach w zakresie przeciwdziałania wspieraniu agresji na Ukrainę oraz służących ochronie bezpieczeństwa narodowego nastąpi w oparciu o oświadczenie Wykonawcy zawarte w formularzu cenowym. Kryteria oceny ofert: Cena oferty - 80% (80 pkt) Szczegóły określone są w rozdziale XI Zapytania ofertowego. Czas reakcji serwisowej - 20% (20 pkt) Szczegóły określone są w rozdziale XI Zapytania ofertowego. Miejsce realizacji: Lublin